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粗糙度轮廓一体机 Infex6362N-sdn
特点:
2 一次测量实现粗糙度、波纹度、轮廓分析
2 实现全范围内的粗糙度、波纹度测量
Ø 测量原理
本仪器测量原理为直角坐标测量法,即通过X轴、Z1轴传感器,测绘出被测零件的表面轮廓的坐标点,通过电器组件,将传感器所测量的坐标点数据传输到上位PC机,软件对所采集的原始坐标数据进行数学运算处理,标注所需的工程测量项目。
Ø 测量功能
轮廓测量功能:
尺寸:包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径
夹角:包含水平角、垂直角、夹角
位置公差:包含平行度、垂直度
形状公差:包含直线度、凸度、圆弧
轮廓度辅助生成:包含辅助点、辅助线、辅助圆
糙度测量功能:
R参数:Ra、Ramax、Ramin、Rasd、Rp、Rpmax、Rpmin、Rpsd、Rv、Rvmax、Rvmin、Rvsd、Rz、Rzmax、Rzmin、Rzsd、R3z、Rc、Rcmax、Rcmin、Rcsd、Rt、Rq、Rqmax、Rqmin、Rdsd、Rsk、Rskmax、Rsmin、Rsksd、Rku、Rkumax、Rkumin、Rkusd、Rsm、Rsmmax、Rsmmin、Rsmsd、Rs、R△a、R△amax、R△amin、R△asd、R△q、R△qmax、R△qmin、R△qsd、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rλa、Rλamax、Rλamin、Rλasd、Rλq、Rλqmax、Rλqmin、Rλqsd、Rδc、Rpc、Rmr
W 参数:Wa、Wamax、Wamin、Wasd、Wsa、Wca、Wa08、Wc、Wcmax、Wcmin、Wcsd、Wt、Wz、Wzmax、Wzmin、Wzsd、Wp、Wpmax、Wpmin、Wpsd、Wv、Wvmax、Wvmin、Wcsd、Wq、Wqmax、Wqmin、Wqsd、Wsm、Wsmmax、Wsmmin、Wsmsd、Wsk、Wskmax、Wskmin、
Wsksd、Wku、Wkumax、Wkumin、Wkusd、W△q、W△qmax、W△qmin、W△qsd、Wδc、Wmr
P参数:Pa、Pt、Pp、Pc、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、RzJ、Rpq、Rvq、Rmq、Pmr、P△q、Avh、Hmax、Hmin、Area、Pδc、Tilta、
Motif参数:Ncrx、R、Rx、AR、Nr、Cpm、Sr、Sar、W、Wx、Aw、Wte、Nw、Sw、Saw
截止波长(λc):0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm
评定长度:λcX2,3,4,5,6,7,X轴有效范围内
滤波器:高斯滤波器,圆弧滤波器,非线性滤波器,2RC滤波器
Ø 测量范围
项目 |
测量范围 |
分辨率 |
传感器 |
±7.5mm |
0.02μm |
驱动器 |
100mm |
0.2μm |
立柱 |
320mm |
- |
Ø 技术规格
指示精度1 |
≤±(0.8+2L/100)μm |
|
直线度2 |
≤0.3μm/100mm |
|
Z轴线性精度3 |
≤±(0.8+|0.12H|)μm |
|
粗糙度指示精度 |
≤±(8nm+3.5%) |
|
重复性4 |
1δ≤2nm |
|
残值噪声5 |
≤12nm |
|
圆弧6 |
≤(1.2+R/12)μm |
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圆弧Pt6 |
≤±0.3μm |
|
角度7 |
≤±1′ |
|
运动控制 |
X轴驱动方式 |
电动 |
Z轴驱动方式 |
电动 |
|
X轴驱动速度 |
0.05~15mm/s |
|
Z轴驱动速度 |
0.2-15mm/s |
注:1、L为测量长度,精度检验方法:激光干涉仪;2、λc为2.5mm,测量速度≤0.3mm/s,测量平晶;3、H为的测量高度;4、采用Ra为0.35-0.5μm的方波标准件;5、λc为0.08mm,测量速度为0.1mm/s,测量平晶;6、2mm<R<10mm的标准球,取样圆弧夹角为120°;7、60°、90°的角度块,角边取样长度为5mm;8、以上参数均在20℃±2℃,阶梯温度不超过2℃/h和地面振动最大RMS<50Hz 2.5μm/s 且 RMS>50Hz 5.0μm/s的环境下测得。