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产品展示
Ø 测量原理
本仪器测量原理为直角坐标测量法，即通过X轴、Z1轴传感器，测绘出被测零件的表面轮廓的坐标点，通过电器组件，将传感器所测量的坐标点数据传输到上位PC机，软件对所采集的原始坐标数据进行数学运算处理，标注所需的工程测量项目。
Ø 测量功能
轮廓测量功能
尺寸：包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径
夹角：包含水平角、垂直角、夹角
位置公差：包含平行度、垂直度
形状公差：包含直线度、凸度、圆弧轮廓度
辅助生成：包含辅助点、辅助线、辅助圆
粗糙度测量功能
粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波纹度参数：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
原始轮廓参数：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
Ø 测量范围
|
项目 |
测量范围 |
分辨率 |
|
驱动器 |
100mm |
0.2μm |
|
轮廓传感器 |
10mm |
0.05μm |
|
粗糙度传感器 |
±420μm |
65536:1 |
|
立柱 |
320mm |
- |
技术规格
|
轮廓仪部分技术参数 |
线性精度1 |
±（1.5+|0.2H|）μm |
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圆弧2 |
±（2+R/8）μm |
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角度3 |
±2′ |
|
|
直线度4 |
0.8μm/100mm |
|
|
粗糙度部分技术参数 |
线性精度 |
±(7nm+3.5%) |
|
残值噪声 |
≤0.025μm |
|
|
重复性 |
1δ≤2nm |
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|
截止波长 |
0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm |
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|
评定长度 |
λcX2、3、4、5、6、7 |
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运动控制 |
X轴驱动方式 |
电动 |
|
Z轴驱动方式 |
电动 |
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X轴驱动速度 |
0.1~10mm/s |
|
|
Z轴驱动速度 |
0.5-10mm/s |
注：1、H为水平位置上的测量高度；2、2mm＜R＜10mm的标准球，取样圆弧夹角为120°；3、60°、90°的角度块，角边取样长度为5mm；4、λc为2.5mm，测量速度为≤0.3mm/s；5、2mm＜R＜10mm的标准球，取样圆弧夹角为120°6、以上参数均在20℃±5℃，阶梯温度不超过2℃/h的环境下测得；7、地面震动最大RMS
＜50HZ 2.5μm/s /＞50HZ 5.0μm/s。
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